SECS/GEM简介

信息发布者Orion

SECS/GEM是什么
广义的SECS/GEM 是一套由SEMI组织制定的半导体设备通讯协议的总称。 其中包括SECS-I,SECS-II,HSMS,GEM,SEM等多个SEMI标准的子协议。 这些协议定义了半导体设备的数据样式，通讯方式，交互内容，机械动作等等方面。

SECS-I协议
SECS-l标准定义了一个通信接口，用于在半导体处理设备和主机之间交换信息。半导体加工设备包括用于晶圆 制造、后加工、过程测量、组装和包装的设备。上位系统与设备通过计算机网络交换信息以完成生产的。该标 准包括对物理连接器、信号水平、数据速率和逻辑协议的描述，这些协议是上位系统和设备通过串口（如RS232等）点对点数据路径 交换消息。这个标准没有定义消息中包含的数据。消息的含义必须通过一些消息内容标准来确定 ，如SEMI quiprent Communications standard E5 (SECS-II)。

SECS-lI
SECS-lI定义了设备与主机之间以消息形式传递信息的方法。这些消息被组织成活动的类别，称为流，其中包含特定的消息。称为函数。 主要内容如下：
1.设备运行状态（Equipment Status）
2.设备报警报告(Equipment Alarm Report）
3.材料状态与控制（Material Status & Control）
4.远程操作指令（Host Remote Command）
5.设备配方管理（Recipe Management）
6.设备操作管理（Process Program Management,Recipe）
7.晶圆定位（Wafer Mapping）
8.远程提示消息（Terminal Message）
9.通讯异常处理（System Errors）
10.设备输出数据监控，如传感器（Trace Data）
还有另外不太常用的内容，这里暂时不做介绍。

HSMS协议
作为SECS-I协议的一种替代，提供了基于TCP/IP的高效可信赖的数据传输方式。

GEM协议
GEM标准定义了通讯视角的通用半导体设备行为，在什么情况下，应该用什么样的消息，以及期待的结果是什么。

SEM协议
SEM作为GEM协议的扩展，定义了一些特殊半导体设备的行为，如物流搬送设备（OHT AGV）和 智能货架等。

SECS/GEM 协议族
广泛应用于半导体工厂，为设备密集型的半导体行业提供了标准化的通讯方式。 可以大大节约工厂与设备供应商的数据交互成本，为自动化，系统化，智能化的制造工厂打通了数据孤岛。

谦行SECS/GEM模块为设备提供了标准的数据接口，也可以根据设备自身特定定制化开发。 同时平台化产品也服务于半导体生产企业，为您的工厂提供完整的集成化服务。 多年来，我们的SECS/GEM 模块应用于大型半导体生产工厂，连接设备类型超过100种，台数超过3000台。